真空工艺的应用环境是建立低于大气压力的物理环境，真空工艺的使用领域众多，不同真空工艺对环境的要求也不相同，

在真空工艺应用中，真空设备需要满足真空工艺各类参数需求。为了更好的实现这一需求，不仅对真空设备性能有要求，同时也需要环境能够给设备提供良好的运作条件，保证设备稳定运行，好环境才有好性能。

本文根据多年在真空行业服务的经验，为您分析真空工艺对环境的相关要求。

常规真空工艺对环境的要求

        所谓常规真空工艺系指没有特殊要求的真空工艺过程，这类真空装置（设备）对真空卫生的要求：

      （1）凡是处于真空中的真空设备零件，都要求无积存的污染源，表面无尘埃，无铁屑、无锈蚀；

      （2 ）真空设备的真空室表面要光滑、无松软组织和气孔、无内焊缝等影响真空的缺陷；

      （3 ）高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂；法兰、观察窗的密封部件要涂以高真空油脂；

      （4）真空设备一般应在温度为15～30℃，相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于25 ℃。

电真空工艺对环境的要求

         电真空结构材料除具有良好的机械性能和加工性能外，还要满足其他性能的要求，即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度、合适的辐射能力等。所以电真空工艺具有特殊性，对清洁处理要求是极为严格的，应最大限度清除或减少零件的污染。

真空镀膜工艺对环境的要求

        真空镀膜工艺衬底（基片）表面的清洁处理很重要，基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、抛光膏、油脂、汗渍等物；零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜；零件表面吸收和吸附的气体。这些污物基本上均可采用去油或化学清洗方法将其去掉。

无油超高真空系统要避免油蒸气影响工作介质的纯度、表面特性或工作性能，为具体的工艺过程提供清洁的超高真空环境。

超高真空金属系统常用1Cr18Ni9Ti为结构材料；有些部位可能使用无氧铜、可伐合金、纯金、纯银、钨、钽、钼、钛等。绝缘材料常用玻璃和95真空瓷；而高分子聚合物由于可能分解出碳氢化合物污染系统，不能使用；饱和蒸气压较高的材料，如锌及其合金也不能使用。

超高真空系统中材料的出气是限制真空度提高的重要因素。一方面可采用清洗、抛光、把零件部件放在真空柜中保存或真空预热除气等方法降低出气速率，以改善材料的原始处理情况。另一方面还可以采用真空系统高温烘烤除气，加速材料出气，使材料表面吸附和吸收的气体分子加速放出并被排出，冷却后材料的出气速率会降低几个数量级。因此，对于一般需要达到10-7Pa以下压力的真空系统，都必须要烘烤除气。